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1. 一、光通信波段亚波长光栅偏振器的设计与分析论文提纲范文

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一、光通信波段亚波长光栅偏振器的设计与分析论文提纲范文

摘要

ABSTRACT

目录

第一章 绪论

1-1 研究的背景和意义

1-2 新型亚波长光栅的应用

1-2-1 抗反射表面

1-2-2 偏振器件

1-2-3 耦合器

1-2-4 窄带滤波器

1-2-5 位相板

1-3 新型亚波长光栅的分类

1-4 论文内容安排

1-5 本章小结

第二章 新型亚波长光栅设计理论分析

2-1 亚波长光栅的严格耦合波分析法

2-1-1 麦克思维方程及波动方程

2-1-2 一维亚波长光栅的严格耦合波理论分析

2-1-3 TM偏振

2-1-4 TE偏振

2-2 亚波长光栅的等效媒质理论分析

2-2-1 一维亚波长光栅的偏振特性

2-3 时域有限差分法

2-4 一维亚波长光栅偏振器周期的确定

2-5 本章小结

第三章 亚波长光栅偏振器的设计及结果分析

3-1 仿真软件的应用

3-2 仿真原理及其参数设置

3-3 亚波长光栅偏振器的设计与分析

3-4 本章小结

第四章 新型亚波长偏振光栅的制备与分析

4-1 纳米加工技术概述

4-2 新型亚波长光栅的工艺流程

4-3 亚波长光栅的加工工艺简介

4-3-1 PECVD技术

4-3-2 电子束*技术(EBL)

4-3-3 ICP干法刻蚀技术

4-4 矩形亚波长光栅偏振器的制备与性能分析

4-4-1 亚波长光栅偏振器制备的具体操作流程

4-4-2 实验分析

4-5 本章小结

第五章 等离子体增强化学气相沉积法镀膜的工艺研究

5-1 PECVD的原理及特征

5-2 PECVD技术中等离子体的性质

5-3 PECVD的特点

5-4 PECVD的应用

5-5 PECVD工艺

5-5-1 PECVD操作规程准备工作

5-5-2 预抽真空系统步骤

5-5-3 装取样品步骤

5-5-4 沉积步骤

5-5-5 停机步骤

5-5-6 腔室清洗

5-6 常见故障及处理方法

5-7 本章小结

参考文献

致谢

攻读硕士学位期间发表的论文目录

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电大学士引用文献:

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